ISO 14644
ISO 14644-1 klassifitseerib õhu puhtuse clean-roomides ja nendega seotud kontrollitud keskkonnaga kohtades. ISO 14644-1 klassifikatsioon sõltub õhu koostisosade kontsentratsioonist. Klassifitseerimisel võetakse arvesse tahkeid osakesi, millel on kumulatiivsed omadused ja suurus 0.1 µm kuni 5 µm.
|
klassid Tahkete osakeste suuruse järgi mikromeetrites kuupmeetri kohta |
||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5 um | 1 um | 5 um | |
| ISO 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| ISO 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| ISO 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| ISO 9 | 35200000 | 8320000 | 2 | |||
